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CVD SiC先驱体的研究进展

李斌 , 张长瑞 , 胡海峰

材料导报

从CVD法制备SiC的传统先驱体的缺陷和不足出发,较详细地介绍了目前常用的先驱体体系及先驱体的发展趋势,并归纳新型先驱体应具备的特点.

关键词: SiC CVD 先驱体