祝要民
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李晓园
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宋晓平
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陈强
中国有色金属学报
采用不同的磁控溅射和回火工艺制备了SmCo磁性薄膜.用能谱仪对不同工艺溅射的样品进行了化学成分分析; 用透射电子显微镜和振动样品磁强计(VSM)研究了薄膜的显微结构和磁性能.结果表明: 溅射态的薄膜为非晶态并具有软磁特征; 当回火温度位于400～ 450℃之间时, 薄膜的微观组织均匀细小, 且随着回火温度增加, 矫顽力增大, 并在450℃回火的样品中得到了最大的矫顽力.回火温度500℃后, 薄膜微观组织中晶粒出现了不均匀粗化, 矫顽力明显降低.
关键词:
SmCo薄膜
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晶化
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显微组织
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磁性能
李元勋
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彭龙
稀有金属
以A1、Cu、Ag、Mo、Cr为衬底层,在650℃热硅基片上制备了未经后退火工艺处理的SmCo基永磁薄膜,研究了薄膜内禀矫顽力的变化规律.结果表明,采用Mo和Cr作为衬底层可以提高薄膜的内禀矫顽力.SmCo基永磁薄膜的厚度对内禀矫顽力的影响复杂,当薄膜厚度为3.0 μm时,可以获得室温内禀矫顽力的最大值为281.6 kA·m-1.内禀矫顽力的温度依赖关系主要取决于薄膜的相关磁学参数,在25～300℃范围内,内禀矫顽力高于200 kA·m-1.
关键词:
稀土永磁
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SmCo薄膜
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矫顽力
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衬底层
彭龙
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涂小强
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李乐中
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王瑞
稀有金属材料与工程
研究了以Mo为衬底在Si(100)基片上沉积SmCo7永磁薄膜的高温磁学性能.结果表明,高温老化处理对薄膜的晶体结构和磁性能没有显著影响.根据趋近饱和定律和薄膜的高温磁化曲线,获得了磁晶各向异性常数K1随温度的变化关系.该关系说明随着温度的增加,SmCo晶粒的取向在一定程度上受到了破坏.此外,薄膜磁性能随温度的变化关系适当,可以满足在微电子机械系统(MEMS)中的应用.
关键词:
稀土永磁
,
SmCo薄膜
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高温应用
,
MEMS
功能材料
采用直流磁控溅射法制备SmCo薄膜,研究了退火温度对薄膜微结构及磁性能的影响.XRD分析结果表明,当退火温度为600℃时,SmCo5相析出,而Sm2Co17相在700℃析出.SEM照片可看出,退火温度高于900℃时,六方柱状的SmCo5相和菱方状的Sm2Co17相全部析出.随着退火温度的升高,晶粒尺寸增大,当温度达940℃时,晶粒尺寸减小,而在980℃时,晶粒尺寸又将增大.VSM测试表明,与制备态的薄膜相比,退火后的薄膜在垂直于膜面方向的矫顽力、剩余磁化强度及最大磁能积都增大.960℃时得到矫顽力和剩余磁化强度的最大值,800℃时得到最大磁能积的最大值.
关键词:
SmCo薄膜
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退火
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微结构
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磁性能
霍乾名
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李宝河
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冯春
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于广华
中国稀土学报
SmCo合金具有极高的单轴磁晶各向异性,成为未来高密度磁记录介质的候选材料之一.本文采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了Cr(100nm)/SmCo(50 nm)/Cr(20 nm)结构的Smco薄膜,SmCo层中Sm含量为35%(原子分数).利用综合物性测试系统(PPMS)和X射线衍射(XRD)对薄膜的磁性能和晶体学结构进行了测试.结果表明,通过550℃退火20 min可以获得很好的硬磁性能,矫顽力R.达到了3183kA·m-1,XRD结果表明薄膜中同时存在磁性相SmCo5和非磁性相SmCo2等.高Sm古量的SmCo薄膜在退火温度为450℃时开始晶化,退火温度达到550℃时,晶化进行的比较完全.
关键词:
SmCo薄膜
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磁性能
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退火
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单轴磁晶各向异性
,
稀土
