傅刚
,
陈志雄
,
张进修
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.014
运用复阻抗谱方法, 在不同浓度乙醇与汽油气体中,测试SnO2厚膜气敏元件的电抗-频率关系曲线, 由电抗的变化来标定元件的灵敏度.与以往的测试采用直流电参量标定灵敏度相比, 复阻抗测试不仅提高了元件的灵敏度,而且显著改善了选择性.该结果表明复阻抗测试不仅反映元件在气体吸附或解吸时晶粒间界处晶界电阻的变化,也反映了晶界电容的变化,因而更能体现气敏机制的本质.
关键词:
SnO2厚膜
,
复阻抗测试
,
酒敏
,
灵敏度
,
选择性
傅军
无机材料学报
本文通过制备不同膜厚的纳米SnO2厚膜型气敏器件试样，测量试样对乙醇气体的灵敏度和试样的阻温曲线并进行复阻抗分析，研究了试样的膜厚对灵敏度的影响．SnO2纳米材料由化学沉淀法制备，采用平面丝网印刷技术制作不同膜厚的气敏试样．结果表明，试样膜厚在65μm左右对乙醇气体具有最大灵敏度．膜厚对灵敏度的影响可能与膜层的晶粒接触状态如接触面积、气孔率、气孔宽度和深度等发生变化有关．
关键词:
SnO2厚膜
,
null
,
null
,
null
