张旭海
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陈倩栎
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蒋建清
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方峰
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江静华
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曾宇乔
材料热处理学报
在Ar气条件下,对反应磁控溅射法制备的TiAlCN涂层进行500～1100℃热处理.采用XRD、Raman和DSC,研究不同热处理温度下涂层微观结构的变化,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响.结果表明,经600～800℃热处理后,涂层非晶碳相明显增加,使涂层形成纳米复合结构,这导致显微硬度显著增加,膜基结合性能增加;在900～1100℃热处理后,由于涂层中六方AlN相的析出,导致涂层显微硬度急剧下降,且韧性下降.
关键词:
TIAlCN
,
热处理
,
硬度
