王东新
,
李军义
,
孙本双
,
任晓
,
何季麟
中国材料进展
评述了几种由氧化钽还原制取钽粉的新工艺。并阐述了不同方法的工艺原理、特点和产品特性。钠还原法反应时间短，还原温度范围广，能过得到高纯度高比表面的钽粉。FFC法具有工艺简单，污染小，成本低的特点，可以用来制备电容器级粉末。SOM法电解速度快，具有很好的发展前景。采用镁蒸汽还原能够得到性能好的钽粉，但是还原时间长，还原装置复杂。
关键词:
Ta2O5
,
钽粉
,
生产工艺
,
氧化钽还原
杨兰
,
郭太良
功能材料
利用阳极氧化法制备Ta2O5绝缘介质薄膜。扫描电子显微镜（SEM）、能谱分析（EDS）和X射线衍射仪（XRD）研究表明Ta2O5绝缘介质薄膜表面平整,致密,呈非晶态。电击穿场强测试系统研究利用Ta-Ta2O5-Al复合薄膜制备FED器件（MIM结构）的绝缘性,表明薄膜具有较高的耐击穿场强,约为2.3MV/cm,分析Ta2O5的导通机理,主要为肖特基效应和F-N效应。
关键词:
Ta2O5
,
阳极氧化
,
绝缘介质
,
导通机制
胡小锋
,
许茜
金属学报
采用熔盐电脱氧法制备金属钽，在800 ℃下的CaCl2-NaCl混合熔盐体系内，用烧结后的Ta2O5片体做阴极，高密度石墨碳棒做阳极，在工作电压为3.1 V的条件下进行电解脱氧反应。研究了1000 ℃烧结4小时前后的Ta2O5片体的孔隙率和微观形貌，及阴极片结构对电解还原反应过程的影响，利用XRD分析了电解产物的相组成，采用称重法测量了电解产物的氧含量。结果显示：采用熔盐电脱氧法可以制备出金属单质钽，阴极片的大孔隙率有利于电解脱氧反应的进行，扩散过程是影响熔盐电脱氧反应速度的重要环节。
关键词:
Ta2O5
,
electro-deoxidization
,
tantalum
,
molten salt
,
diffusion
陈息林
,
余涛
,
吴雪梅
,
董尧君
,
诸葛兰剑
功能材料
利用双离子束沉积设备在p-Si（100）衬底上制备了Ta2O5基MOS电容,研究了不同辅源能量0、100、200、300eV下薄膜生长机制、内部结构以及电学性质的差异。实验结果显示,在辅源能量200eV下制备的Ta2O5薄膜具有最小的表面粗糙度和优异的界面特性。由C-V/I-V特征曲线表明,辅源能量200eV下制备的Ta2O5基MOS电容具有最小的平带电压偏移量、氧化层电荷密度以及漏电流。研究表明合适的辅源能量可有效改善薄膜生长机制,使薄膜由类岛状沉积转化为层状生长,从而提高晶粒均匀性、薄膜平整度以及致密性,使薄膜具有较好的电学性质。
关键词:
高k栅介质
,
Ta2O5
,
MOSFET器件
,
微结构
,
电学性质
马亚林
,
石健
,
李绪诚
,
杨利忠
,
邓朝勇
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.23.010
采用直流磁控溅射法在不同衬底温度下(27、150、300、450和750℃)制备 Ta2 O5薄膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见光分光光度计对薄膜的结构、表面形貌和光学性质进行分析研究。实验结果表明,当衬底温度为450℃时,薄膜开始结晶。低于450℃,薄膜为无定形态,光学透过率随着衬底温度的升高而升高,在可见光区域最大透过率为85％。薄膜结晶生成晶粒,会对通过的光束产生散射,降低透过率,光学性能下降。这些结果说明衬底温度和薄膜材料的结构、结晶转变温度及光学性质密切相关。
关键词:
磁控溅射
,
Ta2O5
,
光学薄膜
,
结晶
,
透过率
李月明
,
江瑜华
,
许素芳
,
张小珍
,
周健儿
人工晶体学报
采用干压成型和高温固相反应烧结制备了CeO2改性Ta2O5低膨胀陶瓷材料.研究了CeO2加入量对制备的Ta2O5陶瓷样品的物相组成、微观结构、热膨胀性能、抗折强度和抗热震性能等的影响.结果表明,经1450℃保温2h烧成,纯Ta2O5陶瓷由β-Ta2O5组成,存在明显的开裂现象,表现出负的热膨胀系数(-1.02×10-6℃-1)和低的抗折强度(1.69 MPa).添加CeO2后,除β-Ta2O5主晶相外,还生成了六方相针状CeTa7O19晶体.适量CeO2的加入可有效抑制Ta2O5陶瓷的高温可逆相转变和消除开裂现象,形成致密的微观结构,样品呈现低的正热膨胀系数,抗折强度和抗热震性能显著提高.
关键词:
低膨胀陶瓷
,
Ta2O5
,
CeO2
,
热膨胀系数
,
抗折强度
许仕龙
,
朱满康
,
黄安平
,
王波
,
严辉
无机材料学报
采用磁控溅射法,在衬底温度为620℃时,通过引入合适的衬底负偏压(100～200V),获得了结晶良好的Ta2O5薄膜,衬底负偏压增强了正离子对衬底表面的轰击作用,加速了其在衬底表面的松弛扩散效应,从而降低了Ta2O5薄膜的晶化温度,改善了其结晶性。同时,C—V测试结果表明:衬底负偏压进一步改善了Ta2O5薄膜的介电性能.
关键词:
Ta2O5
,
dielectric films
,
crystallization temperature
,
bias
辛永磊
,
许立坤
,
李先国
,
王均涛
,
李相波
,
陈光章
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2008.05.010
采用热分解法和Pechini法制备了Ti/IrO2+Ta2O5阳极,通过SEM、极化曲线、循环伏安、电化学阻抗谱及强化电解寿命试验等测试手段,研究表面活性剂对Ti/IrO2+Ta2O5阳极微观结构和电催化性能的影响.结果表明,加入适量的表面活性剂十二烷基硫酸钠(SDS)可以明显改善涂液的涂刷性能;与热分解法相比,阳极表面呈现较多的龟裂纹,而且裂纹变宽加深,其电化学活性表面积增大,析氧电催化活性提高,但稳定性降低.
关键词:
氧化物阳极
,
十二烷基硫酸钠
,
Pechini法
,
IrO2
,
Ta2O5
胡吉明
,
朱艳冗
,
孟惠民
,
孙冬柏
,
吴继勋
,
杨德钧
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.05.007
用循环伏安法研究了不同成分及不同热分解温度所得钛基IrO2-Ta2O5阳极电化学活性与多孔特性.阳极的电化学活性表面积随涂层中氧化物的成分变化而呈振荡变化;表面活性点数目随制备温度上升而下降.当阳极中IrO2的摩尔分数为 0.7时,氧化物阳极的孔隙率达到最低值;孔隙率随制备温度上升而下降.
关键词:
氧化物阳极
,
IrO2
,
Ta2O5
,
电化学活性
,
电化学孔隙率
袁洪飞
材料保护
热分解法制备的涂层性能不够理想,现更多采用溶胶-凝胶法,但传统溶胶-凝胶法制备阳极仍存在工艺复杂、可操作性差的缺点.从电极的前驱体入手,将贵金属的无机盐制备成有机盐,采用溶胶-凝胶法制备了Ti/IrO2+Ta2O5阳极涂层,并与热分解法制备的涂层进行了对比研究.经SEM,EDX,循环伏安,电化学阻抗谱及强化电解寿命试验表明,与热分解法相比,由溶胶-凝胶法制备的氧化物阳极涂层表面呈现较多的龟裂纹,且有少量氧化铱晶簇析出,其电化学活性表面积增大,提高了电极的电催化活性,但稳定性降低.
关键词:
溶胶-凝胶法
,
氧化物阳极
,
涂层性能
,
钛材
,
IrO2
,
Ta2O5
