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Tb掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag异质结的光敏特性研究

翟章印 , 杜维嘉

人工晶体学报

采用脉冲激光沉积方法在低阻GaAs上制备了Tb掺杂的非晶碳膜(a-C∶ Tb)/GaAs p-n结.利用Ag与GaAs 之间的肖特基接触特性,构成了a-C∶Tb/GaAs p-n结与Ag/GaAs肖特基结的反向串联结构.该异质结具有红光敏感特性,室温在光强为45 mW/cm2光照下的光灵敏度达到近1000.Tb掺杂大大提高了光灵敏度.

关键词: Tb掺杂的非晶碳膜 , GaAs , 肖特基结 , p-n结 , 光灵敏度