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化学气相沉积Ti(CN)/TiC/Al2O3多层涂层的结构和耐磨性能

张进 , 薛屺 , 秦曾 , 辛荣

机械工程材料

采用化学气相沉积技术在42CrMo钢基体表面制备了Ti(CN)/TiC/Al2O3多层涂层,分析了多层涂层的断面形貌、元素分布和物相组成,并研究了多层涂层的显微硬度及其与基体的界面结合力、耐磨性能.结果表明:Ti(CN)/TiC/Al2O3多层涂层的结构较致密,主要由TiC0.2 N0.8、TiC、α-Al2O3和Ti2O3组成,厚度约10 μm,其显微硬度约2 654 HV,涂层与基体间的界面结合力可达62 N;与基体相比,多层涂层的平均摩擦因数约降低了23%,磨损量约减少了50%,其磨损机制为疲劳磨损和磨粒磨损.

关键词: Ti(CN)/TiC/Al2O3多层涂层 , 化学气相沉积 , 摩擦磨损

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