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潘应君 , 陈淑花 , 周青春 , 吴新杰
材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2007.09.015
采用多弧离子镀技术制备了TiN/AlN纳米多层膜,并通过多层膜在酸中的浸泡试验及极化曲线测定,对比研究了TiN/AlN纳米多层膜和TiN薄膜的耐蚀性能.结果表明,由于TiN/AlN纳米多层膜中铝的钝化作用及薄膜的特殊层结构,TiN/AlN纳米多层膜比TiN薄膜具有更优良的耐腐蚀性能.
关键词: 多弧离子镀 , TiN/AlN薄膜 , 耐蚀性
