魏永强
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张艳霞
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文振华
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蒋志强
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冯宪章
表面技术
目的 研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律.方法 利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律.结果 TiN/TiAlN多层薄膜表面出现了电弧离子镀制备薄膜的典型生长形貌,随着脉冲偏压占空比的增加,薄膜表面的大颗粒数目明显减少.此外,脉冲偏压占空比的增加还引起多层薄膜中Al/Ti原子比的降低.结论 TiN/TiAlN多层薄膜主要以(111)晶面择优取向生长,此外还含有(311),(222)和(200)晶相结构.5种多层薄膜的纳米硬度均在33GPa以上,当脉冲偏压占空比为20％时,可实现超硬薄膜的制备.
关键词:
TiN/TiAlN
,
电弧离子镀
,
纳米硬度
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微观结构
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脉冲偏压占空比
