刘德飞
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黄慧民
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郑育英
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刘志平
硅酸盐通报
本文采用微乳-水热法一步合成了核壳型TiO2/Al2O3纳米粉体.通过对产物的Zeta电位研究得出制备Ti(OH)4/Al(OH)3核壳前驱体的最佳pH值.并且采用XRD、TEM及SEM等表征方法与普通一步水热法合成的TiO2/Al2O3纳米粉体的晶形晶貌进行比较.结果表明:微乳-水热法能改善颗粒形状和大小,产品的颗粒大小均匀、平均晶粒粒径为13.68 nm.
关键词:
水热法
,
核壳
,
TiO2/Al2O3
,
微乳液
凌惠琴
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丁冬雁
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周晓强
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李明
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毛大立
稀有金属材料与工程
采用磁控溅射法制备了TiO2/Al2O3堆栈结构高k栅介质薄膜,研究了不同后处理条件对等效氧化物厚度,界面电荷和界面扩散的影响.实验结果表明:400℃退火后,TiO2已经结晶,退火可以降低漏电流密度和介电层中的电荷密度.同时,退火使Ti进一步向Al2O3层扩散,形成TiO2和A12为O3的混合层,Al2O3层过薄时不能有效阻挡TiO2的扩散.
关键词:
TiO2/Al2O3
,
堆栈结构
,
high-k
,
界面层
