李戈扬
,
韩增虎
,
田家万
,
张流强
,
顾明元
稀有金属材料与工程
研究了W/Mo纳米多层膜的微结构及超硬效应.W/Mo纳米多层膜采用磁控溅射技术制备,并采用XRD、TEM和显微硬度计研究了薄膜的微结构和硬度.结果表明,W/Mo纳米多层膜形成多晶外延生长的超晶格结构;界面共格畸变使W,Mo两调制层的晶面间距随调制周期的减小而相互接近,在多层膜中形成交变应力场,从而使薄膜得到强化.
关键词:
W/Mo纳米多层膜
,
界面结构
,
超晶格
,
超硬效应
李戈扬
,
张流强
,
许俊华
,
吴亮
,
李鹏兴
,
顾明元
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.1999.03.006
纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一.采用XRD和TEM技术研究了W/Mo纳米多层膜微结构.结果表明,W和Mo由于同为体心立方结构,且晶格常数相近,由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿过调制界面外延生长的结构特征,形成多晶超晶格结构.
关键词:
W/Mo纳米多层膜
,
超晶格
,
磁控溅射
