材料期刊网

惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究

王赞海 , 王星明 , 储茂友 , 郭奋 , 赵鑫 , 沈剑韵

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.05.024

用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250～1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材.

关键词: 溅射靶材 , W/Ti合金靶材 , 扩散阻挡层 , 热压