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电子显微分析在表征纳米晶体化学组分中的应用

何节玉 , 柳一鸣 , 欧阳健明

人工晶体学报

纳米材料的化学组分及含量影响其光、电、声、热、磁等物理性能,电子显微分析是表征纳米晶体化学组分的重要方法之一.本文综述了X-射线能谱(EDS)、X-射线波谱(WDS)、电子能量损失谱(EELS)和选区电子衍射(SAED)等现代电子显微分析技术在表征纳米晶体化学组分、形貌、尺寸和结构等方面的应用及其研究进展,并比较了这些分析方法存在的差异,提出了其应用中存在的不足及今后的研发方向.

关键词: 纳米晶体 , 电子显微分析 , EDS , WDS , EELS , SAED

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