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TiN附着膜的应力-应变关系

覃明 , 嵇宁 , 汪伟 , 陈昌荣 , 李家宝 , 马胜利

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2003.07.009

利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜．借助X射线应力分析技术和微拉伸设备，测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变，进而求其等效应力-等效单轴应变关系，并由此算得它的条件屈服点σ(0.1)和σ(0.2)分别为4.2和4.4 GPa，加工硬化指数为0.36．用纳米压痕仪测得其硬度为25 GPa，弹性模量为420 GPa．TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形．

关键词: TiN膜 , 双轴应力 , 应力-应变关系 , X射线拉伸实验 , 纳米压痕法

Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系

覃明 , 嵇宁 , 李家宝 , 马素媛 , 陈昌荣 , 宋忠孝 , 何家文

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2004.07.008

利用X射线拉伸实验研究了具有二维残余应力的Cu附着膜的屈服强度与退火温度的关系.结果表明,Cu附着膜的条件屈服点随着退火温度的增高而减小,退火温度在150-300℃间变化时,减小幅度最大,出现明显的拐点.这主要由于Cu附着膜在该温度范围内发生了再结晶,使得原有的大部分组织结构强化因素消失了.Cu附着膜的屈服强度远远高于块体Cu材的屈服强度.

关键词: Cu膜 , 二维应力 , 屈服强度 , 退火温度 , X射线拉伸实验

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