张惠
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许立坤
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侯文涛
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辛永磊
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王均涛
材料保护
常规的光学显微镜和扫描电镜(SEM)检测为破坏性检测,且测量时间长,不便于现场应用于涂层厚度的测量.为此,制备了X射线荧光法(XRF)测量Ti/IrO_2-Ta_2O_5涂层厚度所需的校正标样,采用XRF测量了涂层的厚度,并与SEM测量的涂层厚度进行比较.结果表明:标样的涂层厚度和组分分布均匀;XRF测试中发射法比吸收法的灵敏度高,偏差小;XRF的测量结果与SEM的相近,偏差小,可靠度高.
关键词:
X射线荧光
,
IrO_2
,
Ta_2O_5
,
氧化物阳极
,
厚度测量
罗湘宁
,
李友元
,
吴志华
冶金分析
doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2003.05.013
对X射线荧光光谱测定氧化铝中杂质元素的方法进行了研究.利用系列标准样品制作工作曲线,采用混合熔剂四硼酸锂加偏硼酸锂(12+22)熔融制样法分析了SiO2,Fe2O3,Na2O,制备熔片的稀释比为1∶3;直接压片制样法分析了TiO2,V2O5,P2O5,ZnO.SiO2,Fe2O3,Na2O,TiO2,V2O5,P2O5,ZnO测定结果的RSD分别为2.61%,2.61%,2.33%,4.62%,8.24%,8.00%和1.79%.该方法用于氧化铝生产控制及产品分析,数据准确、可靠,结果令人满意.
关键词:
X射线荧光
,
压片
,
熔融
,
氧化铝
,
杂质