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基于二极管泵浦Nd:YAG激光器的紫外微加工系统研制

董云升 , 郭强 , 张少飞 , 吴边 , 王首长 , 胡爱兰

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2008.04.017

自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120 mm×120 mm,最小加工线宽80 μm,系统操作简单、运行稳定高效.实验中完成对Nd:YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F-Theta平场透镜设计.实现波长355 nm紫外激光最高平均功率2.13 W稳定输出,1 h内输出功率波动小于7%;XY振镜最大扫描角度+28°,线性响应速度0.35~0.5 ms;F-Theta视场角为±25°,有效焦距为250 mm.最后对系统存在的问题进行了分析.

关键词: 激光技术 , 微加工系统 , 紫外激光 , XY振镜 , F-Theta平场镜

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