董云升
,
郭强
,
张少飞
,
吴边
,
王首长
,
胡爱兰
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2008.04.017
自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120 mm×120 mm,最小加工线宽80 μm,系统操作简单、运行稳定高效.实验中完成对Nd:YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F-Theta平场透镜设计.实现波长355 nm紫外激光最高平均功率2.13 W稳定输出,1 h内输出功率波动小于7%;XY振镜最大扫描角度+28°,线性响应速度0.35～0.5 ms;F-Theta视场角为±25°,有效焦距为250 mm.最后对系统存在的问题进行了分析.
关键词:
激光技术
,
微加工系统
,
紫外激光
,
XY振镜
,
F-Theta平场镜
