朱华
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况慧芸
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冯晓炜
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万文琼
人工晶体学报
运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1 ~ 9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征.结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320 ~780 nm波长区间透射率变化小;随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降;当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化.
关键词:
ZnO∶N薄膜
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透射率
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磁控溅射