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氮流量对ZnO∶N薄膜微结构及光学性能影响

朱华 , 况慧芸 , 冯晓炜 , 万文琼

人工晶体学报

运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1 ~ 9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征.结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320 ~780 nm波长区间透射率变化小;随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降;当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化.

关键词: ZnO∶N薄膜 , 透射率 , 磁控溅射

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