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碳化锗双层膜作为增透保护膜的制备及性能

胡超权 , 王笑夷 , 陈红 , 郑伟涛

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.03.008

利用磁控溅射方法在ZnS基底上设计并制备了一种Ge1-xCx双层膜.研究发现双面镀Ge1-xCx双层膜后,ZnS基底在8～11.5μm远红外波段的平均透过率提高了9.5%,硬度提高了近3倍,而且该双层膜还具有良好的热稳定性和耐热冲击能力.研究结果表明,此Ge1-xCx双层膜是一种高效的ZnS红外窗口增透保护膜.

关键词: 碳化锗 , ZnS红外窗口 , 增透保护膜