华斌
,
钱国栋
,
徐静
,
何赛灵
,
王民权
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2004.03.010
应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折射率在一定范围内的连续可调,为研制一类新型的光通信窗口有源光波导材料提供了基质材料.
关键词:
平面光波导
,
ZrO2-SiO2薄膜
,
折射率
,
溶胶-凝胶技术
张鹤
,
周珏辉
,
张启龙
,
杨辉
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2013.13014
采用溶胶-凝胶法在玻璃表面制备出ZrO2-SiO2薄膜,然后通过离子交换形成镀膜增强玻璃,研究了薄膜组成对离子交换增强玻璃的力学和光学性能的影响.利用紫外可见分光光度计、激光椭偏仪、纳米压痕、三点抗弯和能谱(EDX)分析了薄膜结构及性能.结果表明:所有薄膜均连续均匀,纯ZrO2薄膜为四方相结构,含Si薄膜为无定形结构；薄膜具有较高弹性恢复率(≥60％)以及H/E比(≥0.1),有利于强度增强；随Si含量增加,可见光透过率增大,但表面硬度和杨氏模量随之降低；0.5ZrO2-0.5SiO2薄膜综合性能最佳:表面硬度为18 GPa,抗弯强度为393 MPa,厚度～45 nm时可见光透过率大于85％.
关键词:
离子交换玻璃
,
ZrO2-SiO2薄膜
,
溶胶-凝胶
,
纳米压痕
