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热处理气氛对溶胶-凝胶法制备a-InGaZnO TFT器件的影响

李倩 , 李喜峰 , 张建华

功能材料

采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结构和光电性能影响.并用于薄膜晶体管(TFT)的有源层,制备的a-IGZO TFT,其具有明显的转移特性,其关态电流为10-11A,退火能够改善a-IGZO TFT器件性能,器件的开关比提高了两个数量级.

关键词: 溶胶-凝胶法 , a-IGZO薄膜 , 薄膜晶体管