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铝合金直接氮化生长氮化铝反应机制研究

金海波 , 陈克新 , 周和平 , 王群 , 王文忠

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.04.010

针对铝合金直接氮化生长AlN过程中的晶体生长过程进行分析，通过X-ray衍射和SEM观察，获得了不同生长阶段AlN晶体的生长特征，研究了铝合金直接氮化生长氮化铝的反应机制. 提出了一种气-液-固-固)晶体生长机制，简称VLSS机制，并着重对VLSS机制的实现条件、实现过程以及与传统的VLS晶体生长机制的相同点和差异进行了讨论.

关键词: 铝合金 , 直接氮化 , 氮化铝 , 生长机制