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薄膜厚度对透明 PLT厚膜的介电及光学性质的影响

郑分刚 , 陈建平 , 李新碗

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00459

用溶胶-凝胶法在镀有氧化铟锡透明导电电极的玻璃基片上沉积钛酸镧铅薄膜, 在相对较低温度580℃退火, 得到了纯钙钛矿结构的透明PLT薄膜, 薄膜厚度从580~1830nm. 随着薄膜厚度的增加, PLT薄膜的晶粒变大、介电常数增大, 而矫顽场减小. 所有样品的透射率都在70%以上, 最大达到90%左右. 当薄膜厚度增加后, 透射率降低, 并且截止波长向长波方向移动. 在633nm处, 1830nm厚的PLT(掺镧8%)薄膜的折射率n和消光系数分别为2.390.009.

关键词: PLT厚膜 , dielectric properties , optical properties , sol-gel

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