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王福会 , 楼翰一
材料研究学报
本文用动态拉伸法研究了基体温度和Ar 气压力对磁控溅射不锈钢膜与碳钢基体间粘附性的影响。结果表明,基体温度为400℃,Ar 气压力为133—467mPa(1-3.5×10~(-3)mmHg)为最佳。
关键词: 磁控溅射 , stainless steel coating , adhesion
