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纳米SnO2磨料的制备及其在钌化学机械抛光中的应用

储向峰 , 李秀金 , 董永平 , 乔红斌 , 白林山

稀有金属材料与工程

利用固相反应法制备纳米二氧化锡磨料并研究了制备条件对平均粒径的影响.结果表明,在500 ℃/4 h条件下制得的纳米二氧化锡粉体在水中有良好的分散性和稳定性.利用自制的抛光液对高纯钌片进行化学机械抛光,与二氧化硅磨料抛光液比较,材料去除速率和表面粗糙度都降低.当抛光液中含1%(质量分数,下同)二氧化锡、1%过硫酸铵、1%酒石酸和3 mmol/L咪唑,pH=8.0,抛光压力为17.24 kPa时,材料去除速率(MRR)和表面粗糙度(Ra)分别为6.8 nm/min和4.8 nm.

关键词: 纳米二氧化锡 , 磨料 , 化学机械抛光 ,

掺锑的纳米SnO2/WPU复合隔热涂层的制备与表征

陆扣留 , 季振国 , 孔哲 , 李红霞 , 张峻

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.12231

利用掺锑的纳米SnO2和水性聚氨酯(WPU)制备了透明隔热的复合涂层.实验发现涂层的隔热起因于涂层中掺锑的纳米SnO2粒子对红外线的吸收.隔热测试结果表明在阳光的照射下,涂层表面的温度升高,而测试箱内的温度最大下降17.5℃.实验制备的掺锑的纳米SnO2/WPU复合隔热涂层具有许多优点,如成本低、化学性能稳定、制作方便等,是一种性价比较高的隔热涂层.

关键词: 纳米SnO2 , 水性聚氨酯 , 复合涂层 , 隔热涂层

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