吴虎城
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张德坤
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李伟
材料科学与工艺
以不同能量的碳离子注入方法得到的单晶硅片作为研究对象,利用原位纳米力学测试系统对其纳米硬度和弹性模量进行测定,在UMT-2型摩擦试验机上进行摩擦试验,利用S-3000N型扫描电镜表征其磨损后的磨痕形貌.结果表明,碳离子注入后硅片的纳米硬度和弹性模量发生变化,注入后硅片的的减摩效果和耐磨性能在0.1～0.3 N载荷下得到了大幅度提高.注入前单晶硅片的磨损机制在0.1 N载荷下以粘着磨损为主,在0.6 N载荷下以疲劳剥落为主;注入后单晶硅片的磨损机制以粘着磨损为主.
关键词:
单晶硅
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离子注入
,
摩擦磨损性能
