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单晶及多晶硅切割废料中的高纯硅回收

郭菁 , 邢鹏飞 , 涂赣峰 , 祁阳

材料科学与工艺

为提高在切割废料中高纯硅的回收率,对沉降方法和条件进行了优化.根据单/多晶硅切割废料浆的物理、化学性质,在m(水)∶m(聚乙二醇)=(8~9)∶1、含有少量无机盐的水溶液体系中,在不同沉降时间和不同固液配比的条件下进行正交试验,通过盐酸、氢氟酸进行除杂,最后在1 500~1 600℃下进行硅的铸锭.通过X射线衍射、元素分析和粒径分析研究沉降条件对于最终回收产物的影响.研究表明:在固液比为0.06、沉降时间5 h的条件下,沉降并经过除杂得到的微粉中硅质量分数达到88.52%,碳化硅质量分数为11.46%,富集的微粉经铸锭得到的硅锭纯度为98.71%,硅的回收率达到43.33%.

关键词: 单晶硅 , 多晶硅 , 切割料浆 , 碳化硅 , 聚乙二醇 , 高纯硅 , 回收

硅多晶质量检测分析中的磷检电阻率曲线研究

董俊 , 史冰川 , 何永国 , 栾石林

人工晶体学报

本文对几种典型的实测电阻率曲线进行分析,利用普凡公式和补偿后净载流子导电模型对曲线的异常进行了合理解释并用低温红外检测结果进行了对比验证.采用硼磷杂质浓度补偿净值方法计算出的数据接近实测情况,电阻率特性曲线符合普凡公式描述的规律,可作为理论特性曲线使用.

关键词: 硅多晶 , 磷检 , 电阻率 , 净载流子

保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

林涛 , 孙艳辉 , 段春艳 , 章大钧

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.04.027

本文采用# 3303工业硅作为定向凝固的原料提纯多晶硅锭.实验过程中保持拉锭速度和冷却水流量为常数,并分别以不同的保温时间作为试验参数进行实验.采用金相显微镜(Metalloscope)和扫描电子显微镜(SEM)对硅锭微观形貌进行表征,结果显示,硅锭的底部杂质含量最少.定向凝固过程中杂质从硅锭的底部朝着硅锭的顶部方向聚集.用电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)对硅锭杂质含量进行分析,结果显示,效果最好的实验保温时间是30分钟,并由此可以推断保温时间越长,硅锭中的杂质含量越少.

关键词: 保温时间 , 定向凝固 , 多晶硅 , 提纯

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