苏国萍
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唐大伟
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郑兴华
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邱琳
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杜景龙
工程热物理学报
碳化硅晶体具有很高的导热系数，能够在高温下操作，作为有希望用于微电子机械系统的材料，引起了人们的广泛关注。本文使用3ω方法测量了各向异性材料碳化硅晶体三个不同方向的导热系数。在碳化硅晶体样品的表面布置三个位置不同，一定尺度和形状的微型Au金属探测器。每个微型Au金属探测器的温度波动情况包含样品不同方向的热信号。根据谐波法测量原理和各向异性材料碳化硅晶体的导热特性，可得到碳化硅晶体样品X，Y和Z方向的导热系数。使用所设计的微型金属探测器结构，首次可同时获得各向异性材料三个方向的导热系数。
关键词:
SiC晶体
,
3ω方法
,
各向异性
,
导热系数
