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离子镀Ti(Al)N涂层的结构与耐蚀性

于力 , 郎丰群 , 于志明等

腐蚀科学与防护技术

用空心阴极离子镀制备了Ti(Al)N和TiN涂层,0.5mol/L的H2SO4 溶液中极化曲线结果表明,Ti(Al)N涂层的耐蚀性优于TiN涂层。电子探针(EPMA)、X射 线衍射和扫描电镜等分析了Ti(Al)N涂层的元素分布特征及组织结构。 

关键词: 涂层 , hollow cathode discharge ion plating , structure and anti- corrosion property , null

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