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金属外延生长的原子级观察

高巧君 , 郑天佐

金属学报

本文用场离子显微镜(FIM)对金属外延层的结构进行了原子级的观察。 超晶格外延生长的条件依赖于表面能和晶格参数的匹配。在表面能匹配条件被满足的情况下,从原子级尺度来看,外延生长中存在各种缺陷,例如空位、空位团、空洞、位错和孪晶。产生缺陷主要是外延材料与衬底晶格参数失配引起的。 实验观察到在一定条件下外延生长会使金属表面合金化。可能的机制是交换扩散机制。

关键词: 场离子显微镜 , epitaxial growth , crystal defect , diffusion mechanism , superlattice

a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H 多层膜的电学和光学性质

彭启才 , 周心明 , 蔡伯埙

材料研究学报

采用等离子体辉光放电单室系统制备的a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H 多层膜结构具有低的暗电导和高的光电导特性,且不同于单层膜,有明显的S-W 效应。随着子层厚度L 减小,多层膜曝光态(B)的暗电导率σdB 较退火态(A)的σdA 减小快,即光诱导衰退程度增大,而光电导无明显变化。本文还测定了此多层膜结构的光能隙E_g,得到随子层厚度减小“蓝移”的结果。用一维单量子阱模型作了讨论,实验值与理论计算符合较好。

关键词: a-Si:H/a-Si_(1-x)C_x:H , superlattice , amorphous semiconductors electrical properties , optical properties , null

STRUCTURE AND FERROMAGNETIC RESONANCE OF Fe/Cu SUPERLATTICES

BI Siyun MA Xiaoding SONG Ruitian MEI Liangmo ZHAO Jiangao GUO Yicheng Shandong University , Jinan , China

金属学报(英文版)

Metallic Fe/Cu superlattice films on glass substrates were prepared by a dc-magnetion sputtering system.The modulation behaviors and the crystal structures of the films were ex- amined by X-ray diffraction and transmission electron microscopy(TEM)respectively. Their magnetic properties were studied by means of ferromagnetic resonnance spectrometer and the vibrating sample magnetometer.The results show that there exists a strong magnetic coupling between the neighbouring Fe layers and it is the coupling that affectes the magnetic properties of these superlattice films.

关键词: superlattice , null , null , null

金属Fe/Cu超晶格的结构和铁磁共振

毕耜云 , 马小丁 , 宋瑞田 , 梅良模 , 赵见高 , 郭贻诚

金属学报

用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制得了金属Fe/Cu超晶格薄膜。用X射线衍射和电子显微镜观察和分析了它们的调制特性和晶格结构;用铁磁共振(FMR)技术和振动样品磁强计进行了磁学性质的研究。新的实验结果揭示了在邻近Fe层间的耦合特性和它对超晶格磁性的影响。

关键词: 超晶格 , ferromagnetic resonance , interface , spin-wave resonance

InAs/GaSb 超晶格红外探测器台面的 ICP 刻蚀研究

郭杰 , 郝瑞亭 , 赵前润 , 满石清

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.01.027

采用分子束外延方法在 GaSb 衬底上生长InAs/GaSb 超晶格红外薄膜材料,为获得台面结构,采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术和 Cl2/Ar 刻蚀气体,分别研究了不同刻蚀时间、不同气体比例及不同功率对 GaSb、InAs 及 InAs/GaSb 超晶格刻蚀速率和刻蚀形貌的影响。结果表明,由于刻蚀产物 InClx 的低挥发性阻挡了 Cl2的刻蚀,InAs 的刻蚀速率低于GaSb；Cl2比例在20％~40％时,刻蚀表面粗糙度最小,明显低于湿法腐蚀造成的表面损伤,有助于形成良好的欧姆接触和减小器件的表面漏电流。

关键词: InAs/GaSb , 超晶格 , ICP 刻蚀 , 刻蚀速率 , 表面形貌

超点阵R-Mg-Ni基合金结构和储氢特性研究现状?

陈子亮 , 李永涛 , 张庆安

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.10.002

由 Laves 型[A2 B4]和 CaCu5型[AB5]亚单元以一定比率沿c 轴有序堆垛而成的超点阵 R-Mg-N i基储氢合金(R＝稀土元素、Ca元素)，因具有储氢容量高、可逆性好以及动力学与热力学行为温和可控等优势被认为是新一代镍氢电池最理想的候选负极材料。本文介绍了超点阵 R-Mg-N i 基合金的结构特点和储氢特性，着重阐述了结构、Mg 元素及氢化行为三者之间的关系，并指出了这类合金在储氢机制方面需要进一步探究的关键性问题。

关键词: R-Mg-Ni基合金 , 超点阵 , 结构特点 , 储氢特性

半导体异质结界面处Sb/As交换反应研究

邱永鑫 , 李美成 , 熊敏 , 张宝顺 , 刘国军 , 赵连城

稀有金属材料与工程

利用分子束外延(MBE)技术,在GaAs衬底上生长了高质量的GaAs/GaAsSb超晶格,并通过高分辨X射线衍射(HRXRD)技术对Sb/As交换反应进行研究.实验表明,随着衬底温度的升高,Sb解吸附速度增加,在Sb束流作用下形成的GaAs/GaAsSb超晶格中的Sb含量下降.而Sb束流大小和暴露在Sb束流中的时间对GaAs/GaAsSb超晶格中的Sb含量影响很小.这说明Sb与GaAs中的As原子的交换反应仅发生在GaAs表层,Sb原子在GaAs中的扩散距离很短.

关键词: 分子束外延 , 异质结 , 超品格 , Sb/As交换反应

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/37/1/014004

关键词:

非晶态Ge/SiO_2超晶格结构与特性

张兴旺 , 陈光华

材料研究学报

在双靶射频溅射系统中,以氢气为工作气体,交替溅射高纯Ge和SiO2,制备出了非晶态Ge/SiO2超晶格.小角度X射线衍射分析结果表明样品具有良好的周期性和界面平整性.其光学带降Eopt由红外透射、反射谱确定.当锗势阱层厚度从0.38nm减小到0.12nm时,超晶格光学带欧发生约0.3eV的游移.

关键词: 超晶格 , α-Ge/SiO_2 , RF sputtering

基于串联模型的Si/Ge超晶格法向热导率

冯媛 , 梁新刚 , 鞠生宏

工程热物理学报

超晶格半导体材料广泛用于热电、光电、微电子器件,研究它的热导率和传热性能很有必要.本文采用热阻串联模型计算Si/Ge超晶格热导率,在模型中考虑界面影响以及声子透射率随波长的变化.在固定周期厚度时,Si和Ge厚度比例变化不影响超晶格热导率.随着温度升高,热导率趋于定值,界面散射对于声子传输的作用减小,而U过程的作用增加.

关键词: 超晶格 , 热导率 , Debye-Callaway模型