陈明祥
,
易新建
,
甘志银
,
刘胜
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.026
采用抗拉强度作为键合质量评价的指标,对硅-玻璃阳极键合的键合温度、冷却速度、退火温度和时间等四个参数的三个位级下的键合效果进行了分析.通过采用正交试验分析法,将81组试验减少为9组并进行了试验.采用自制的抗拉强度测试机对强度进行了测试,结果发现,阳极键合后的冷却速度对强度的影响最为显著,冷却速度越低,强度越高.最后对断裂面进行了SEM分析并对试验结果进行了讨论.
关键词:
阳极键合
,
圆片键合
,
微机电系统(MEMS)
,
强度
,
正交试验法
葛琦
,
张俊英
,
王天民
,
肖诗唐
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2009.07.007
应用一种先进质量管理理论"田口方法",对一种新型建筑装饰材料蓄能发光陶瓷的制造工艺进行优化设计和质量控制,获得了较高稳定性的制造工艺过程,其中施釉方式和釉料种类的选取减小了围绕平均值的波动,其他因素的优化选择则降低了产品成本,证明了该方法的有效性.
关键词:
田口方法
,
蓄光
,
质量管理
