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沉积温度对YBCO薄膜取向的影响

张华 , 王书明 , 冯校亮 , 杨坚

低温物理学报

采用脉冲激光沉积技术(PLD)在SrTiO3(100)单晶衬底上制备YBCO薄膜,用X射线对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行观察.实验主要研究了衬底温度对薄膜外延取向的影响,结果表明在770℃温度下制备的YBCO有较多的α轴晶粒生成,在800℃温度下制备的YBCO是纯的c轴取向,且平均面内ψ扫描半高宽(FWHM)为1.2°,超导转变宽度(△Tc)为0.9K.

关键词: YBCO , PLD , 织构 , α轴晶粒

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