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初探混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品

王新峰 , 郭荆璞 , 贾璋 , 吕莹 , 朱萌 , 王晓楠 , 陈晋平 , 徐军 , 冯庆荣

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2004.04.013

介绍用混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备的不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品.该样品的Tc(onset)=38K,Tc(0)=27K.X光衍射图形表明它是(101)方向织构的致密厚膜.这种膜具有较强的韧性,同时和衬底有高度的结合性.当其被弯曲到约200微米半径的弧度时,膜面会出现条状裂纹,但仍有少部分膜面未被破坏,保持完整,表现出较好的韧性.

关键词: MgB2 , 厚膜超导体 , 不锈钢衬底 , SEM图 , X-光衍射

纳米粒子在不锈钢衬底MgB2超导膜中的作用

王银博 , 易声宇 , 冯庆荣

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.02.002

我们用混合物理化学气相沉积法(hybrid physical-chernical vapor deposition简称为HPCVD)以氩气为背景气体,在不锈钢衬底上于不同条件下制备了一批MgB2超导薄膜样品.用扫描电子显微镜获取了相关的SEM图像,并对膜的成分进行了能谱分析(EDX)的.当把不锈钢衬底MgB2超导薄膜弯曲不同角度之后,膜面上均出现了裂纹.裂纹的数量和宽度随弯曲的角度的增大而增加,但是膜始终紧紧地覆着在衬底上不脱落.因此我们可以说覆着在不锈钢衬底上的MgB2超导薄膜具有了很好的韧性.在膜中我们也发现有大量的数十纳米大小的晶粒.这个尺寸的纳米粒子的作用可以用来平衡MgB2膜内结构和表面晶粒的活性之间的相互作用.MgB2纳米粒子的存在是MgB2超导膜表现出韧性的关键角色.

关键词: 混合物理化学气相沉积法(HPCVD) , MgB2超导薄膜 , 不锈钢衬底 , 韧性 , 纳米粒子

不锈钢衬底MgB2厚膜韧性的研究

陈莉萍 , 丁莉莉 , 庄承钢 , 张开诚 , 陈晋平 , 徐军 , 安玲 , 闫昌硕 , 熊光成 , 冯庆荣

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2006.01.007

我们用混和物理化学气相沉积法(HPCVD)在不锈钢衬底上原位制备了以MgB2厚膜(约10微米厚)为过渡层的MgB2超导厚膜(约20微米厚)样品,两层膜总厚约30微米.X光衍射实验表明过渡层为(101)取向的织构膜,表层MgB2超导厚膜接近多晶膜,但有较强(101)取向,两者均含有少量的Mg和MgO杂相.此超导厚膜样品的Tc(onset)=37.8K,Tc(zero)=36.6K,ΔT=1.2K.对此样品的弯曲实验表明,以曲率半径500微米弯曲到180°后,样品仍具有Tc(onset)=37.8K,Tc(zero)=36.4K的超导电性.样品剖面SEM观测表明该膜结构致密,表面厚膜层和过渡层之间连接紧密.样品表面的SEM观测表明虽然样品弯曲导致表面MgB2超导厚膜面出现了裂缝,甚至有小部分膜面的脱落,但过渡层始终紧紧附着在不锈钢衬底上.这表明过渡层MgB2厚膜的存在大大地提高样品整体的柔韧性,展现了不锈钢衬底上的MgB2厚膜超导带(线)巨大的开发潜力和诱人的广阔应用前景.

关键词: 混合物理化学气相沉积(HPCVD) , MgB2超导厚膜 , 过渡层 , 不锈钢衬底 , 韧度

不锈钢衬底上锆钛酸铅膜的制备

李坤 , 陈王丽华 , 蔡忠龙

功能材料

以改性二氧化锆的过渡层,用溶胶—凝胶法在不锈钢衬底上成功制备了锆钛比为52/48的锆钛酸铅膜.扫描电镜分析表明,膜的表面平整,无裂纹.X射线分析结果说明,经650℃退火30min,后膜为纯的钙钛矿相.以衬底为下电极、直径为0.32mm的金上电极,测量了0.8μm膜的电滞回线及其它性能,膜的乘余极化为18μC/cm2.

关键词: 锆钛酸铅 , 陶瓷 , 薄膜 , 不锈钢衬底 , 阻挡层

衬底对沉积碳纳米管薄膜的影响

樊志琴 , 李瑞 , 蔡根旺 , 杨培霞 , 程仁志

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2007.04.038

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,分别在不锈钢衬底上和刻线的镍膜上直接沉积了碳纳米管膜.通过SEM、拉曼光谱和XRD表征,讨论了不同衬底对碳纳米管膜生长的影响.结果表明:在一定条件下,可在镍膜上沉积垂直于衬底的高度取向的碳纳米管,但在不锈钢衬底上却长出取向无序的碳纳米管膜,这说明衬底对碳纳米管的取向生长起着关键作用.

关键词: 碳纳米管(CNTs) , 镍膜衬底 , 不锈钢衬底 , 拉曼光谱

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