田家万
,
韩增虎
,
赖倩茜
,
戴嘉维
,
李戈扬
功能材料
正确测量涂层的硬度等力学性能一直是硬质涂层生产和研究中亟待解决的问题.本文提出的采用力学探针对涂层进行两步压入的实验方法可以在未知涂层厚度的条件下通过大载荷逐步加载展示出涂层厚度对载荷选择的要求,从而正确选择加载载荷进行小载荷压入实验.由此方法得到的涂层硬度值和其它力学性能指标具有准确和可靠的特点.
关键词:
两步压入法
,
硬质涂层
,
硬度
,
弹性模量
田家万
,
韩增虎
,
虞晓江
,
赖倩茜
,
李戈扬
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2002.06.003
提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法,并用此方法研究了(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系.结果表明,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小单调增加, 并在调制周期为1.3nm时达到最高值HV=29.0GPa和E=383.0GPa,表明(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜存在超硬度和超模量效应.
关键词:
两步压入法
,
薄膜
,
纳米多层膜
,
超硬效应
