杨声海
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王亦男
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何静
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唐谟堂
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邱冠周
稀有金属材料与工程
以自制高纯乙醇钽为原料,通过水解、干燥与煅烧生产粒度约35 nm的高纯Ta2O5纳米粉.研究了水解过程中乙醇钽浓度、温度、加料时间对产品粒度的影响以及煅烧温度与时间对Ta2O5晶形的影响.选取水解最佳条件为:乙醇钽浓度1.0 mol/L,水解温度50℃左右,加料时间约15 min.加完后,搅拌5 min,接着加入氨水溶液调节pH值到8～9,同时升温至80℃～85℃保温30 min;煅烧温度800℃,时间2 h.得到的Ta2O5产品粒度约35 nm,纯度＞99.997%.
关键词:
乙醇钽
,
水解
,
高纯
,
纳米粉
杨声海
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潘泽强
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李朝晖
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唐谟堂
,
邱冠周
稀有金属材料与工程
研究了"牺牲"阳极法电化学合成乙醇钽过程中,添加剂种类与浓度、电解液温度、阴阳极极距和电流密度的影响.选取最佳合成条件为:四甲基氯化铵0.04 mol/L,温度为电解液的沸腾温度,极距约2 cm,电流密度220 A/m2.电合成的混合液经常压蒸馏和减压蒸馏,得到产品用红外光谱、拉曼光谱和元素分析进行表征,确定了产品为乙醇钽.电合成的电流效率大于95%,产品蒸馏时钽的直收率82.8%.
关键词:
电化学合成
,
乙醇钽
,
乙醇
,
红外光谱
,
四甲基氯化铵
杨声海
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刘银元
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邱冠周
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唐谟堂
稀有金属材料与工程
Ta2O5薄膜层具有较高的介电常数、折射率以及和ULSI加工过程中的相容性,因而将在硅芯片栅层材料、动态随机存储器、减反膜、气敏传感器、太阳能光伏电池面板介电层等方面得到应用.对以Ta(OC2H5)5为原料,通过常规金属有机化合物气相沉积、光致化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积、原子层化学气相沉积和脉冲化学气相沉积法制各Ta2O5薄膜进行了评述,并对这些方法存在的问题进行了分析.
关键词:
乙醇钽
,
氧化钽薄膜
,
化学气相沉积
