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半无限体内双圆柱亚表面热波散射问题的研究

马晓波 , 谈和平 , 董士奎

工程热物理学报

本文基于非傅里叶导热定律,采用波函数展开法,研究了含双圆柱缺陷非透明半无限体中热传播问题,给出了基于热传导波动模型的热波散射问题的一般解.温度波由调制光束在材料表面激发,缺陷表面的边界条件为绝热,分析了各物理参数对温度分布的影响,特别是热波波长对温度变化的影响,并给出了温度变化的数值结果.

关键词: 非傅里叶导热 , 热波 , 多重散射 , 红外成像 , 亚表面缺陷

功能梯度材料亚表面缺陷的热波多重散射问题

马晓波 , 谈和平

功能材料

基于热传导波动模型,采用波函数展开法,研究了半无限功能梯度材料亚表面球形缺陷的热波多重散射.给出了热波散射的一般解.温度波由调制光束在材料表面激发,球形缺陷表面的边界条件为绝热,非均匀参数为指数函数变化.分析了结构几何参数和物理参数对温度分布的影响,并给出了温度变化的数值结果.本研究可为功能梯度材料的分析研究、物理反问题和红外热波成像等提供理论基础和参考数据.

关键词: 功能梯度材料 , 非Fourier导热 , 热波多重散射 , 亚表面缺陷

熔石英亚表面缺陷的研究进展

蒋勇 , 袁晓东 , 祖小涛 , 向霞 , 徐世珍 , 吕海兵 , 章春来 , 尹伟 , 陈猛 , 王成程

材料导报

介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机械性能弱化3种诱导熔石英损伤的机理.还介绍了氢氟酸(HF)刻蚀和激光预处理2种非常有效的控制熔石英亚表面缺陷的技术,并对熔石英亚表面缺陷研究现状、存在问题和发展趋势进行了简要的总结和展望.

关键词: 亚表面缺陷 , 缺陷量化 , 损伤机理 , HF酸刻蚀 , 激光预处理

熔石英元件抛光加工亚表面缺陷的检测

王洪祥 , 朱本温 , 王景贺 , 侯晶 , 陈贤华

材料科学与工艺 doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20150202

亚表面缺陷的准确检测是进行亚表面损伤研究的前提和基础,对保证光学元件加工质量至关重要。基于HF酸化学蚀刻法对熔石英元件抛光加工产生的亚表面水解层、缺陷层深度和亚表面损伤形貌进行了定量检测,并利用X射线荧光光谱法研究了熔石英抛光试件杂质元素的种类和元素含量沿深度分布规律,提出了熔石英元件抛光加工亚表面损伤深度的判定方法。研究表明:由于水解层和亚表面缺陷层的存在,熔石英抛光试件的蚀刻速率随着时间的增加呈现递减的趋势,且在蚀刻的初始阶段蚀刻速率下降尤为明显;当蚀刻深度超过某一特定值后,全部或部分覆盖在水解层以下的缺陷层将会被完全蚀刻去除,蚀刻速率基本保持不变;另外,熔石英抛光试件存在多种形式的表面及亚表面缺陷,在不同蚀刻深度,亚表面损伤形貌、划痕的宽度和深度也存在一定的差异。

关键词: 熔石英元件 , 亚表面缺陷 , 抛光加工 , 损伤形貌 , 划痕

无机材料超光滑表面的制备

周永恒 , 苏英 , 黄武

材料导报

随着光学、微电子、航天和激光技术的发展,在晶体或玻璃等无机材料上制备亚纳米级的超光滑无损伤表面已成为现代精密加工技术领域的重点研究课题.近年来,此项技术研究进展迅速,不仅改进了传统的抛光技术,还出现了浮法抛光、离子束加工和弹性发射加工等新技术.系统介绍了超光滑表面的检测、制备技术及其发展,并讨论了抛光过程中的机械化学作用机理.

关键词: 超光滑表面 , 亚表面缺陷 , 抛光

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