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人造石英晶体电清洗过程中的直流伏安特性

尚继武 , 刘巨澜 , 刘小丰 , 庞珍丽

人工晶体学报

研究了电清洗试验中人造水晶的伏安特性,分析了电清洗水晶的杂质含量和腐蚀隧道密度的变化.实验表明,在加压过程中电流出现先增后减再增的变化规律,分别对应杂质离子的浓度变化.电压稳定后电流逐渐减小.元素分析表明电清洗可以使Na+产生定向迁移,但对Al3的含量没有影响.电清洗水晶的腐蚀隧道密度明显减小.

关键词: 人造石英晶体 , 电清洗 , 伏安特性 , 腐蚀隧道密度

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