李斌
,
张长瑞
,
胡海峰
,
齐共金
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.018
合成了液态碳硅烷并对其结构进行了分析;采用化学气相沉积工艺,以自制的液态碳硅烷为先驱体,分别在850℃和900℃的较低温度下制得了SiC粉体,并对产物进行了IR、XRD和SEM分析.结果表明,850℃产物中含有未分解完全的有机基团,900℃产物为较纯的部分结晶的纳米SiC粉体,粒度为50～70nm.
关键词:
低温化学气相沉积
,
碳化硅
,
碳硅烷
,
纳米粉体
