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氧化锆基氧传感器对抽气(空气)系统的低真空测量

孙成文 , 陈深 , 杨芝洲

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.06.021

应用Y2O3稳定ZrO2氧浓差电池, 在600~800℃测定了抽气(空气)系统(0.1~10-3MPa)中氧对大气氧的浓差电动势. 实验得出, 电池电动势E与被抽真空系统残余气压p的对数有线性关系: E=RT/4F ln(pair/p), 线性方程斜率和理论值RT/4F接近, 误差5%. 测量电动势灵敏度随压力降低而增加, 因此适宜用于低真空测量.

关键词: 低真空测量 , 氧化钇稳定氧化锆 , 氧化锆氧传感器 , 氧化锆氧浓差电池

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