魏平玉
,
李涛
,
徐敏
,
韩磊
,
郭栋
,
张南红
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163102.0164
本文建立了黑矩阵扩散法修复亮点的理论模型并实验验证了该模型,分析了影响修复效果的各个因素及影响程度,为提升亮点修复成功率奠定基础.我们设置一系列实验,定性分析了激光泵浦源、激光波长、光斑大小、加工速度、产品设计和修复模式因素对修复效果的影响.首先,通过FIB图像分析,验证了创建的修复理论模型;其次,分析了上述因素对修复成功率的影响,最后对一款修复难度大的产品进行改善提升.实验结果表明:修复过程按照产生空隙(Gap,约1.5μm),黑矩阵颗粒化和空隙填充三阶段进行;从成功率看,Laser Diode泵浦方式优于Flash Lamp,B波长激光优于A波长激光,光斑大小选取1/2子像素、速度选取100～200μm/s时Gap成功率最高,有Overcoat层(OC)且黑矩阵(BM)比重大的产品修复成功率更高.最后我们以上述理论分析和实验结果为指导,将一款修复难度极大的产品的成功率从40％提升到90％以上.
关键词:
黑矩阵扩散
,
修复成功率
,
激光
,
影响因素
,
光阻
韩磊
,
魏平玉
,
周春霖
,
郭栋
,
王贺卫
,
衣洪亮
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20173202.0110
作为TFT-LCD常见的晕开不良,目前无成熟、系统的修复方法.本文依据TFT-LCD晕开不良形成机理,建立修复模型并实验验证该模型.通过激光照射裂变法及按压形变法对某款产品晕开不良进行修复验证,裂变法及形变法修复成功率分别达到30％和70％.通过修复影响因素分析,结果表明,裂变法在照射能量为4～10Ⅳ时,异物颗粒所在位置决定其修复效果;形变法在按压力度为30～50 N时,异物高度及成分成为其修复成功的决定因素.最后本文以上述理论分析和实验结果为指导,对一款晕开不良产品进行按压修复且成功率达到79％.
关键词:
晕开不良
,
裂变
,
形变
,
修复成功率
,
影响因素
