舒航
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刘敬成
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王春林
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刘仁
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张胜文
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刘晓亚
高分子材料科学与工程
以甲基丙烯酸（MAA）、甲基丙烯酸甲酯（MMA）、甲基丙烯酸羟乙酯（HEMA）和甲基丙烯酸苄基酯（BZMA）为原料，通过自由基聚合制备了聚甲基丙烯酸酯系列共聚物PMMHB，再用甲基丙烯酸缩水甘油酯（GMA）与PMMHB反应制得光敏共聚物PMMHB—G。用傅立叶红外光谱（FT—IR）、核磁共振氢谱（^1H-NMR）、凝胶渗透色谱（GPC）、热重分析（TGA）和差示扫描量热（DSC）表征了聚合物的结构与性能，用光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）观测了光致抗蚀剂的耐酸性、微观线路及分辨率。结果表明，随共聚物组成中BZMA含量增加，其分子量（Mn）和玻璃化温度（L）呈下降趋势，热分解温度（Td）提高。光致抗蚀剂的耐酸性随BZMA含量的增加而有所提高。由PMMHB-G制得光致抗蚀剂的图像线路清晰笔直，分辨率可达到40μm。
关键词:
甲基丙烯酸酯
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UV固化
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光敏共聚物
,
光致抗蚀剂
郑祥飞
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刘敬成
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刘仁
,
刘晓亚
高分子材料科学与工程
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯(MAdMA)为单体,通过自由基聚合制备了不同MAdMA含量的共聚物PMMHM,再与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制得光敏共聚物PMMHM-G.用傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱、凝胶渗透色谱、差示扫描量热等表征了聚合物的结构与性能;以PMMHM-G为基体树脂配制了光致抗蚀剂,测试了抗蚀剂膜的硬度与附着力,并用扫描电子显微镜观测了光致抗蚀剂的分辨率.结果表明,随着MAdMA含量升高,共聚物的相对分子质量下降,玻璃化转变温度升高,树脂的耐碱性增强,光致抗蚀剂的硬度和附着力良好,分辨率达50μm.
关键词:
甲基丙烯酸
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光敏共聚物
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负性光致抗蚀剂
,
应用
