余金中
,
严清峰
,
夏金松
,
王小龙
,
王启明
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.001
SOI (Silicon- on- Insulator) 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 SOI基整片集成光电子回路.本文综述了近几年来 SOI集成光 电子器件的发展以及一些最新的研究进展 , 着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构, 包括 SOI光波导、 SOI光波导耦合器、 SOI光波导开关、相位阵列波导光栅( PAWG)、基于 SOI的光 探测器等,并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展.
关键词:
SOI
,
光电子集成电路
,
光波导
,
SOI光波导开关
,
阵列波导光栅
,
SOI基光探测器
王德强
,
陈玮
,
程继健
材料导报
介绍了目前国际上主要玻璃光波导的研究热点.简述了制备光波导的晶体材料、玻璃材料和高分予聚合物材料的优缺点.着重阐述了玻璃材料的研究进展.并简要介绍了采用硫卤玻璃制备非线性光波导的诱人前景.
关键词:
非线性材料
,
光波导
,
硫卤玻璃
,
离子交换
王德强
,
陈玮
,
程继健
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2006.06.012
以油酸钾为熔盐,GeS2-Ga2S3-AgX(X=Cl,Br,I)玻璃为基玻璃,在270℃的环境温度下,以氮气作为保护气氛,成功地进行了K+-Ag+离子交换.在50GeS2-25Ga2S3-25AgI玻璃中,K+离子的交换深度可达256μm,并对交换深度、离子扩散系数以及离子浓度之间的规律进行了初步研究.通过离子交换研究,为制备硫卤玻璃光波导奠定了基础,并可以进一步拓宽硫卤玻璃的应用前景.
关键词:
硫卤玻璃
,
离子交换
,
光波导
,
浓度分布
王颖娜
,
常丽萍
,
郭淑琴
材料导报
表面等离子共振(SPR)传感器是一项新兴的生物化学检测技术,具有灵敏度高、检测方便快捷、可实现在线检测等许多优点,可广泛应用于材料科学、环境保护、食品工业等直接关系人类生存发展的诸多领域.首先介绍了SPR传感器的发展历史及其工作原理,然后综述了SPR传感器的结构和分类,具体包括棱镜耦合式SPR传感器、集成光波导耦合式SPR传感器、光纤SPR传感器和光栅耦合式SPR传感器的结构,着重描述了SPR传感器的最新发展趋势,重点介绍了分布式SPR传感器、光纤SERS传感器的发展状况.
关键词:
SPR传感器
,
表面等离子体共振
,
棱镜
,
光波导
,
光栅
苏德亮
,
钱国栋
,
王智宇
,
洪樟连
,
王民权
稀有金属材料与工程
以正硅酸乙酯(TEOS)和丙醇锆Zr(Ⅳ)-propoxide为先驱体,HAc作为螯合剂,采用溶胶-凝胶工艺制备了不同锆含量(XZr)的一系列SiO2-ZrO2块材,用旋涂法制备了硅基薄膜,并经FTIR表征.折射率测试表明,当XZr≤20%时,Zr能够进入Si-O-Si网络,有效的调控材料的折射率.当XZr＞20%时,由于HAc对Zr的螯合作用使丙醇锆无法充分水解,而主要以配合物的形式存在于材料中,导致了薄膜严重龟裂,折射率偏离线性变化;研究获得了旋涂工艺参数对硅基SiO2-ZrO2薄膜厚度的调控规律.
关键词:
SiO2-ZrO2薄膜
,
折射率
,
溶胶-凝胶工艺
,
光波导
晋玉剑
,
薛晨阳
,
丑修建
,
刘俊
,
张文栋
材料导报
基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点.主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微谐振腔Q值的影响因素,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了提高环形波导微谐振腔Q值的技术途径,指出了当前高Q值环形波导微谐振腔研究存在的技术瓶颈问题,并展望了未来的发展趋势.
关键词:
光波导
,
微谐振腔
,
高Q值
,
微光机电系统
唐婷婷
,
陈福深
材料导报
采用微扰法分析了光在芯层为左手介质的有损耗平板波导中的传播情况,推导出有效折射率和振幅衰减系数的解析式,并进行了数值计算.同时与右手介质平板波导中的结果进行了比较,结果表明,左手介质波导的衰减系数总是随波导厚度与波长比值(b/λ)的增加而急剧单调递减,不同模式衰减曲线所对应的b/λ取值区间相差较大,并且衰减曲线区间对应的6/λ比值较右手介质波导要小得多.最后讨论了这些特性在器件设计中的作用和意义.
关键词:
光波导
,
衰减系数
,
微扰法
,
左手介质
,
平板波导
于晓红
,
连洁
,
卢霏
,
宋平
,
高尚
人工晶体学报
用椭圆偏振法研究了2.5 MeV B离子注入后的铌酸锂晶体,建立四层模型,对反射式椭圆偏振测量得出的数据进行反演拟合,得到了波导层厚度及0.3～0.8 μm波段波导层和损伤层的双折射色散曲线,发现低剂量B离子注入铌酸锂形成了折射率下降的位垒,在晶体表面下2.0 μm范围内得到了光波导结构.研究结果为以铌酸锂为基础的光波导器件研发提供了重要信息.
关键词:
光波导
,
椭圆偏振测量
,
离子注入
,
折射率
