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基于p型多孔硅的一维光子晶体的微结构分析

包晓清 , 钱敏 , 王连卫 , 朱自强

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.01.014

经由阳极氧化实现了p型硅基的60周期(120层)反射结构,并在此基础上成功制作了基于一维光子晶体的全反射镜,其中心反射波长位于1.6μm左右,反射率几乎为100%的禁带带宽约为0.25μm.

关键词: 光子晶体 , 全反射镜 , 阳极氧化 , 多孔硅