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ZnO薄膜p型掺杂的研究进展

李驰平 , 张铭 , 宋雪梅 , 王波 , 李彤 , 严辉

材料导报

ZnO薄膜作为一种多功能半导体材料,近年来一直受到广泛关注.然而,如何制备高质量的p型ZnO薄膜是实现其实用化的关键.概括了p型掺杂困难的原因,并指出Ⅲ-Ⅴ族元素共掺杂可能是p型掺杂的最好方法.简单回顾了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对今后的发展趋势进行了展望.

关键词: ZnO薄膜 , p型掺杂 , 共掺杂方法