王必本
,
邢涛
材料导报
用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有Ta缓冲层和Ni催化剂层的Si衬底上制备了准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜研究了它们的生长和结构随温度的变化.结果表明生长的准直碳纳米管是竹节型结构,其直径随衬底温度的降低而减小,生长速率随衬底温度的升高有一极值.从催化剂在衬底温度作用下的变化开始,分析了衬底温度对碳纳米管生长和结构的影响.
关键词:
化学气相沉积
,
准直碳纳米管
,
衬底温度
党纯
,
王必本
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.028
利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统,在辉光放电的情况下制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了不同负偏压对准直碳纳米管生长的影响.结果表明随着负偏压的增大,准直碳纳米管的平均直径减小,平均长度增大.由于辉光放电的产生,在衬底表面附近形成阴极鞘层,以及在阴极鞘层内形成大量的离子和在衬底表面附近形成很强的电场导致了离子对衬底表面的强烈轰击.最后,分析和讨论了离子的轰击对准直碳纳米管生长的影响.
关键词:
准直碳纳米管
,
离子轰击
,
负偏压
王必本
,
郝伟
,
严辉
,
材料导报
利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFe的Si衬底上制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果表明辉光放电和压强对其生长和结构有极大的影响.若无辉光放电产生,碳纳米管是弯曲的,有辉光放电时,碳纳米管是准直的.当压强较大时,准直碳纳米管较容易生长,并且随着压强的减小,其平均直径减小和平均长度增大.但压强为5Pa时,准直碳纳米管却不能够生长.最后,分析和讨论了辉光放电和压强对准直碳纳米管生长和结构的影响.
关键词:
准直碳纳米管
,
辉光放电
,
压强
王必本
,
侯碧辉
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.034
利用负偏压增强热丝化学气相沉积在不同的负偏压和压强下,在沉积有不同厚度NiFe膜的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长.发现在无辉光放电的情况下,碳纳米管弯曲生长,而在辉光放电时,碳纳米管准直生长,表明辉光放电对碳纳米管的准直生长起到了重要的作用.由于辉光放电的产生,在衬底表面附近形成很强的电场.相对无辉光放电时的电场,场强提高了两个数量级.本工作详细地研究了辉光放电对碳纳米管的准直生长作用.
关键词:
准直碳纳米管
,
辉光放电
,
负偏压
徐幸梓
,
王必本
,
张兵
,
刘天模
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.011
利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFe的Si衬底上制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果表明真空度对其生长和结构有较大的影响.当真空度为4000Pa和2000Pa时,准直碳纳米管较容易生长,并且真空度为2000Pa时生长的碳纳米管平均长度大于真空度为4000Pa时碳纳米管的平均长度.但真空度为667Pa时碳纳米管生长困难.根据热力学和辉光放电理论,分析了真空度对准直碳纳米管生长和结构的影响.
关键词:
准直碳纳米管
,
辉光放电
,
真空度
