孙秀菊
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李海玲
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励旭东
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任丙彦
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周春兰
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赵雷
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王文静
人工晶体学报
采用真空热蒸发技术,制备出了性能优良的MgF2/ZnS双层减反射薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析,采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度,利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征.研究表明:衬底温度为200 ℃时薄膜附着力、结晶态良好;蒸发速率影响薄膜的表面形态;MgF2/ZnS厚度为110 nm/35 nm时具有最佳减反射效果.
关键词:
ZnS薄膜
,
MgF2薄膜
,
减反射薄膜
,
真空热蒸发
孙志娟
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陈雪莲
,
蒋春跃
无机材料学报
doi:10.15541/jim20130632
以正硅酸乙酯(TEOS)为壳层材料，聚丙烯酸(PAA)为核材料，以传统的 St?ber 水解法为基础制备得到结构规整的中空二氧化硅纳米粒子，并采用自组装法制备单层减反射薄膜和宽波段双层减反射薄膜。主要研究中空二氧化硅纳米粒子的结构调控方法；自组装次数和中空二氧化硅纳米粒子分散液的pH值对减反射薄膜透光率的影响规律，以及具有渐变折射率的双层减反射薄膜的制备。研究结果表明：通过调节 PAA 和 TEOS 的用量可精确调控中空二氧化硅纳米粒子的粒径和空腔体积分率，进而可精确调控减反射薄膜的厚度和折射率；通过酸洗工艺，将自组装次数由10次减少为2次，简化了涂膜的工艺条件，在最佳工艺条件下所制备的单层减反射薄膜在350~800 nm波长范围内可显著提高玻璃的透光率，在最佳波长(λ=520 nm)处将玻璃的透光率由91.6%提高至98.1%；双层减反射薄膜可在更宽的波段范围内提高基材的透光率，在400~1500 nm波长范围内将玻璃的透光率提高了5%以上。
关键词:
中空二氧化硅纳米粒子
,
减反射薄膜
,
透光率
,
自组装法
