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PECVD工艺参数对双层SiNx薄膜性能的影响

采用PECVD法在多晶硅基底上沉积双层SiN；薄膜，研究了工艺参数对其膜厚、折射率、沉积速率、HF腐蚀速率及光电性能等的影响，并提出了优化的SiNx减反膜PECVD制备工艺。研究发现：衬底温度、射频频率、射频功率、腔室压力对SiNx薄膜性能均有重要影响，且优化工艺后的双层SiNx薄膜能有效提高多晶硅太阳电池光电性能。

关键词: 双层SiNx , 减反膜 , 工艺参数 , 薄膜性能

多功能太阳电池减反膜研究进展

徐娟 , 刘永生 , 雷伟 , 杜文龙 , 司晓东 , 郭保智 , 高湉 , 林佳

硅酸盐通报

减反膜(ARCs)能减少太阳电池表面反射,提高电池效率,近年来得到了极大的关注.光伏器件常应用于户外环境,因此ARCs不仅要具有基本的减反射性能,还应具有自清洁性、耐磨损和耐久性等更多实际应用能力.本文概括了减反膜的基本原理,介绍了一些常用ARCs材料(SiO2、TiO2、SiNx等)和制备ARCs的方法,总结了目前的一些研究成果.最后,讨论了ARCs未来的发展趋势及挑战.

关键词: 减反膜 , SiO2 , TiO2 , 溶胶凝胶法 , 自清洁

硫气氛下热处理后太阳能玻璃减反膜的透过率稳定性

李春华 , 姜宏 , 赵会峰 , 崔永红 , 马艳平

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2015.06.010

太阳能镀减反膜玻璃作为太阳能电池盖板玻璃,需要长期暴露于室外,因此了解太阳能玻璃减反膜的透过率及其稳定性具有重要意义.本文主要研究了在一定湿度和一定温度环境下,硫气氛下和未通入硫气氛下热处理后的太阳能玻璃减反膜透过率的变化.通过岛津UV-3600测定了玻璃的透过率;利用Nexus傅里叶变换红外光谱仪和INVIA显微共焦拉曼光谱仪测定了太阳能玻璃减反膜的结构.研究结果表明:太阳能玻璃减反膜的透过率稳定性与不同气氛下热处理后的结构有关;在水侵蚀作用下,减反膜的透过率与水的结合类型有关.

关键词: 硫气氛 , 太阳能玻璃 , 减反膜 , 透过率

硫气氛下热处理对太阳能玻璃减反膜透过率的影响

李春华 , 姜宏 , 赵会峰 , 邹世锋

硅酸盐通报

本文研究了硫气氛下热处理对太阳能玻璃减反膜透过率的影响,结果表明玻璃透过率与S含量、硫熏时间密切相关.并进一步测试了各试样减反膜的反射光谱、表面形貌、断面形貌、断面成分及硫元素深度分布,探讨分析了硫气氛下的热处理对太阳能玻璃减反膜透过率的影响机理.

关键词: 硫气氛 , 热处理 , 太阳能玻璃 , 减反膜 , 透过率

基于P3HT∶PCBM聚合物太阳电池阳极减反膜的设计与制备

朱冰洁 , 刘桂林 , 严慧敏 , 郭颖 , 朱华新 , 李帅 , 李果华

人工晶体学报

以薄膜光学的相关理论、太阳辐射的能量分布与P3HT的吸收光谱为理论基础,设计出在400 ～ 1100 nm范围的超宽带减反膜系,并利用真空电子束蒸发的方法在玻璃基底上蒸镀减反膜,将玻璃基底在400 ～ 1100 nm波段的透过率提高了3％～5％,光子通量增加了3％.接着,将减反膜应用到以P3HT和PCBM为本体异质结的聚合物太阳电池的阳极上,得到了具有阳极减反膜的聚合物太阳电池.经过对比测试分析,具有阳极减反膜的太阳电池效率比普通电池提高了3.23％,与光子通量提高值较为符合,这一结论为聚合物太阳电池效率的进一步提高提供了一个可行的方法.

关键词: 聚合物太阳电池 , P3HT∶ PCBM , 减反膜 , 光电转换效率

多孔硅在太阳能电池应用中的相关研究

王海燕 , 卢景霄 , 吴芳 , 王子健 , 张宇翔 , 靳瑞敏 , 张丽伟

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.034

本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅,通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究,定性地分析了氧在多孔硅层中的作用及主要热行为.分析了多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题:多孔层微孔尺寸、太阳电池工艺中各热处理过程的温度和时间、多孔层与电极材料是否形成欧姆接触及快速热氧化(RTO)的钝化效果.

关键词: 氧钝化 , 快速热处理(RTP) , 快速热氧化(RTO) , 减反膜

强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜

唐永兴 , 李海元 , 严海华 , 乐月琴 , 贾巧英 , 刘瑞军

稀有金属材料与工程

对不同比例的Si(OC2H5)4:H2O:C2H5OH:NH3:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO2颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜.涂制多孔SiO2减反膜后K9和石英玻璃,单波长表面反射率减少约7.5%,激光破坏阈值＞15 J/cm2,1 053 nm/1ns;涂制防潮膜减反膜的KDP晶体,双波长表面反射率减少6.5%～7.5%.膜层表面均匀性优良.

关键词: 强激光负载 , 溶胶-凝胶 , 减反膜 , 防潮膜

醇硅比对太阳能玻璃用多孔SiO_2减反膜性能的影响

辛崇飞 , 彭诚 , 吴建青

材料科学与工程学报

采用溶胶-凝胶工艺在碱催化条件下制备了多孔结构的纳米SiO2薄膜,研究了不同醇硅比对溶胶体系的粒度分布、薄膜折射率以及透过率的影响。用纳米粒度分析仪测试了溶胶的颗粒分布,用紫外-可见-近红外分光光度计、椭偏仪、原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）测试了薄膜的光学性能、折射率、膜厚和显微形貌等。结果表明：随着醇硅比的增大,溶胶体系粘度下降,凝胶时间延长,颗粒度下降,折射率有升高的趋势;制备的增透玻璃膜层折射率为1.24,可见光透过率达到98.22%。

关键词: 溶胶-凝胶 , 二氧化硅薄膜 , 减反膜 , 太阳能玻璃 , 醇硅比

具有自洁和耐磨功能SiO2/TiO2减反膜的制备与研究

王建伍 , 白宇辰 , 姚微 , 王红宁 , 陈若愚

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00769

以正硅酸乙酯(TEOS)和钛酸正丁M(TBOT)为原料,采用溶胶-凝胶法制备了SiO2溶胶和TiO2溶胶,利用浸渍提拉法制备了SiO2/TiO2双层减反膜.用紫外-可见分光光度计(UV-Vis)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、椭圆偏振光谱仪和接触角测量仪等分析表征了薄膜的特性,以光催化降解甲基橙溶液实验来评价薄膜的自洁功能,考察了SiO2/TiO2双层减反膜的耐磨擦性.结果表明,SiO2/TiO2双层减反膜在400～800nm可见光波段的透光率最高可达97.2%,薄膜表面平整,结构致密且粗糙度小,经紫外灯照射后薄膜的水接触角接近0°,光催化2h后可将5mg/L的甲基橙溶液降解43.6%.SiO2/TiO2减反膜还具有优良的耐磨擦性能.

关键词: 溶胶-凝胶 , 减反膜 , 自洁功能 , 耐磨擦性

含Si-O-P键的减反膜结构及性能影响因素研究

王燕 , 王红宁 , 陈若愚

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2014.13416

采用SiO2水溶胶(ACS)为硅源， H3PO4为桥联剂， H2O2为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新型减反膜。利用FTIR、XRD、FESEM、TEM、AFM对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究，结果表明，在成胶过程中， H2O2的导入有效修复了SiO2胶粒的表面羟基，提高了SiO2的反应活性；而在焙烧过程中， H3PO4通过其自身脱水形成的偏磷酸链状体分别与 SiO2胶粒及玻璃基底表面的 Si-OH 进行了脱羟基缩聚，构架了坚固的Si-O-P网络交联，最终形成了稳定的磷硅酸盐凝胶网络结构，提高了成膜质量。当n(H3PO4)：n(H2O2)：n(EtOH)：n(SiO2)=0.49：0.52：30：1时，制备的SiO2减反膜在可见光区平均透光率高达98%，硬度可达6H。

关键词: SiO2水溶胶 , 磷酸 , 双氧水 , Si-O-P桥键 , 减反膜

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