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掺锡氧化铟陶瓷靶材在直流磁控溅射过程中“结瘤”的形成与演化

侯俊峰 , 李志友 , 周科朝 , 孙本双 , 姜鹤

人工晶体学报

以共沉淀ITO粉制备的陶瓷靶材为溅射靶,采用EDX、XRD、SEM研究了靶材在磁控溅射过程中“结瘤”的化学组分及物相组成,并对不同阶段“结瘤”的微观结构进行表征,探讨了“结瘤”的生长演化过程及形成机理.结果表明:“结瘤”与靶材基体具有相同的化学组成及物相结构,其生长演化分为锥状“结瘤”的形成及生长、锥顶外皮脱落、“结瘤”断裂、断面平滑、诱发新“结瘤”产生5个阶段.溅射过程中的“自溅射”效应使外来杂质颗粒和In2O3分解产生的InO在靶材表面形成的凸起逐渐长大并最终形成“结瘤”.

关键词: ITO靶材 , 结瘤 , 溅射 , 凸起

两种内翅片管对流换热与阻力特性的实验研究

田林 , 罗来勤 , 王秋旺

工程热物理学报

本文通过实验方法研究了当内翅片管几何尺寸及形状基本相同时,在内翅片上增加凸起对其换热和阻力的影响,并拟合出了所测参数范围内换热和阻力的实验关联式,结果表明在翅片管上增加凸起确实有强化换热的作用,同时阻力增加明显.通过对实验管综合性能的比较,发现增加凸起的换热管更适用于压缩机中冷器.

关键词: 内翅片管 , 强制对流 , 实验研究 , 凸起

炉顶凸起对6分离器CFB气固流动的影响

周星龙 , 程乐鸣 , 王勤辉 , 聂立 , 方梦祥 , 骆仲泱

工程热物理学报

本文在6分离器CFB冷态试验台上,研究了炉顶凸起空间对气固流动的影响。利用差压法测量炉膛颗粒浓度轴向分布,采用光纤探针测量不同位置的颗粒浓度和速度的径向分布,通过积料法测量6分离器的颗粒循环流率。通过试验结果的分析,得到炉顶凸起空间内的颗粒运动特性,以及不同凸起高度时的炉膛环核流动特性和颗粒外循环特性。本文的研究对大型多分离器布置CFB锅炉的结构优化设计具有参考意义。

关键词: 循环流化床 , 凸起 , 气固流动

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