许小红
,
张富强
,
武海顺
,
张聪杰
,
李佐宜
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.021
反应溅射制备AlN薄膜时,薄膜的择优取向与众多的实验参数有关.建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系,避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多,得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数.同时,通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较,发现两者具有很好的一致性.这一系列函数关系式的建立,对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义.
关键词:
氮化铝薄膜
,
实验参数
,
择优取向
,
函数关系
