程清
,
文庆珍
,
朱金华
,
张一飞
高分子材料科学与工程
有机/聚合物光折变材料是一类在信息传输、存储及信息处理等方面有着很大发展潜力的非线性光学材料,文中介绍了有机光折变材料的几种典型应用,综述了目前研究较为深入的几类有机光折变聚合物材料的组成特征和性能特点,并对其近年来材料的设计思想和制备研究进展进行分类表述,分析了材料体系中存在的亟待解决的瓶颈问题。最后对有机光折变聚合物材料的实用性及发展方向进行了展望。
关键词:
有机光折变
,
掺杂体系
,
全功能聚合物
,
双功能聚合物
,
分子玻璃
,
液晶体系
李浩
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金峰
,
陈卫强
,
段宣明
影像科学与光化学
分子玻璃材料和多光子光刻技术分别是近年来光刻胶和光刻技术领域的研究热点.本文对分子玻璃正性光刻胶在多光子光刻中的应用进行了探索,设计合成了叔丁氧基羰基保护的杯[4]芳烃衍生物分子玻璃材料,将其作为主体材料与光生酸剂三氟甲磺酸三苯锍鎓盐进行复配,制备了分子玻璃正性光刻胶,探讨并优化了光刻胶的成分配比及其在紫外光曝光下的显影工艺.利用780nm波长飞秒激光对所制备的分子玻璃正性光刻胶进行了多光子光刻特性的评价,实验得到了最低线宽180 nm的线条和复杂的二维微结构图形,结果表明杯[4]芳烃衍生物分子玻璃正性光刻胶有望应用于多光子光刻技术.
关键词:
杯芳烃
,
分子玻璃
,
正性光刻胶
,
多光子光刻
许箭
,
陈力
,
田凯军
,
胡睿
,
李沙瑜
,
王双青
,
杨国强
影像科学与光化学
本文简述了光刻技术及光刻胶的发展过程,并对应用于193纳米光刻和下一代EUV光刻的光刻胶材料的研究进展进行了综述,特别对文献中EUV光刻胶材料的研发进行了较为详细的介绍,以期对我国先进光刻胶的研发工作有所帮助.
关键词:
光刻胶
,
193 nm光刻
,
EUV光刻
,
化学放大光刻胶
,
分子玻璃
